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緊湊型質(zhì)量流量和壓力控制器FLEXI-FLOW 緊湊型 FF-C1x技術(shù)規(guī)格介紹

更新時(shí)間:2023-05-05      瀏覽次數(shù):301
  • 快速穩(wěn)定的控制

  • 車載氣體轉(zhuǎn)換模型

  • 嵌入了 22 種特的氣體

  • 多參數(shù)輸出:質(zhì)量流量、溫度和壓力

  • USB-C 和藍(lán)牙通信

用于低氣體流量的質(zhì)量流量/壓力控制器

FLEXI-FLOW 緊湊型質(zhì)量流量/壓力控制器適用于在真空和 17 bar(a) 之間的工作壓力下精確測(cè)量和控制 0…500 ml n /min 和 0…20 l n /min 之間的流量范圍。該儀器將基于毛細(xì)管 MEMS 技術(shù)的快速穩(wěn)定的熱質(zhì)量流量傳感器與精確且經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的旁路結(jié)構(gòu)相結(jié)合。由于特的國(guó)際專,精確的質(zhì)量流量測(cè)量得以建立,幾乎不受溫度和管線壓力變化的影響。結(jié)合集成溫度和上游和下游壓力傳感器,22 種氣體的嵌入式數(shù)據(jù)庫(kù)可實(shí)現(xiàn)精確的機(jī)載轉(zhuǎn)換。參數(shù)儀器為用戶提供有用的過(guò)程信息。 

FLEXI-FLOW 緊湊型質(zhì)量流量/壓力控制器目前有 3 種型號(hào)可供選擇:

  • “高級(jí)預(yù)配置"(PA),量程比 1:500,流量 + 溫度 + 上游和下游壓力,4 個(gè)流量范圍(FS,基于 N 2):
    FF-A500 型 - 500 ml n /min
    FF-A2K0 型 - 2 l n /min
    FF-A5K0 型 - 5 l n /min
    FF-A20K 型 - 20 l n /min

  • “預(yù)配置標(biāo)準(zhǔn)"(PS),量程比 1:50,流量 + 溫度,4 個(gè)流量范圍(FS,基于 N 2):
    FF-S500 型 - 500 ml n /min
    FF-S2K0 型 - 2 l n /min
    型FF-S5K0 - 5 升/分鐘
    FF-S20K 型 - 20 升/分鐘

  • “按訂單制造"(BtO),調(diào)節(jié)比 1:1000;在 0.5 和 20 l n /min(FS,基于 N 2之間自由選擇范圍,
    FF-C10 型:流量 + 溫度
    FF-C11 型:流量 + 溫度 + 上游和下游壓力;
    BtO 模型也可用于配置多達(dá) 8 個(gè)通道的多通道版本。

  • 測(cè)量/控制系統(tǒng)
    流量范圍(可提供中間范圍)分鐘。
    最大0…500 ml n /min 0…20 l n /min
    (以 N 2計(jì))
    壓力范圍PA:0...17 bar(a)
    PS:不可用
    BtO:FF-C10:不可用 / FF-C11:0...17 bar(a)
    精度(包括線性度)(基于實(shí)際校準(zhǔn))PA:±0.8% Rd + ±0.2% FS (N 2 /Air/O 2 );
    PS:±1.5% Rd + ±0.5% FS (N 2 /Air/O 2 );
    BtO:高達(dá) ±0.5% Rd 加上 ±0.1% FS (N 2 /Air/O 2 );
    對(duì)于其他氣體增加轉(zhuǎn)換不確定性;查看多氣體表;
    重復(fù)性流量傳感器:< ±0.2% Rd;
    壓力傳感器:< ±0,2% FS
    調(diào)節(jié)比PS:1:50
    PA:1:500
    BtO:高達(dá) 1:1000
    最大限度。運(yùn)營(yíng)壓力16巴克
    多氣體/多范圍以及這些氣體的任何混合物的嵌入式氣體數(shù)據(jù)
    穩(wěn)定時(shí)間(受控,典型)150 毫秒
    長(zhǎng)期穩(wěn)定性< 0.5% 滿量程 3 年;然后 < 0,2% FS 每年
    控制穩(wěn)定性< ± 0,1% FS(1 l n /min N 2 的典型值)
    工作溫度0 … 50攝氏度
    儲(chǔ)存/運(yùn)輸條件-20 … +80 °C,最大值 95% RH(非冷凝)
    安裝任意位置,姿態(tài)敏感度可忽略不計(jì)


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