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tekhne露點(diǎn)儀TK?100技術(shù)說(shuō)明

更新時(shí)間:2023-08-21      瀏覽次數(shù):270

技術(shù)説明「TK?100露點(diǎn)計(jì)」

株式會(huì)社テクネ計(jì)測(cè)のTK-100 シリーズ靜電容量式露點(diǎn)計(jì)は
強(qiáng)靭且つ高精度の露點(diǎn)計(jì)であり
微量水分から大気までを計(jì)測(cè)可能な信頼性のおける製品です

これらの靜電容量式センサーには、最先端の薄膜技術(shù)を利用したセラミック水分センサー技術(shù)が使用されております。センサーは2つの導(dǎo)電層に挾まれた多孔質(zhì)な絶縁層における水蒸気の吸著を利用しております。


図:靜電容量式露點(diǎn)計(jì)構(gòu)造図


多孔質(zhì)な絶縁體部分に水分分子が入ることにより上部の多孔質(zhì)な導(dǎo)電層と下部の導(dǎo)電層との間の電気容量が変化します。
この電気容量(靜電容量)を水分量として検出を行いセンサー內(nèi)部でのデジタル処理を通してリニアな出力として出しています。

センサーのセラミック絶縁層は0.5ミクロン以下、上部の多孔質(zhì)な導(dǎo)電層は0.1ミクロンの薄さであり、水蒸気量の僅かな変化に対しても
すばやい応答を行います。この様な薄さでありながら、センサーは強(qiáng)靭であり耐久性に優(yōu)れております。

最下層であるセラミック基部に上部層はスパッタリング処理されますので、各層の均一性を維持できるため、安定的な測(cè)定をお約束します。

技術(shù)分析情況


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