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什么是四極桿分析?

更新時(shí)間:2023-09-14      瀏覽次數(shù):360

微極分析儀

MICROPOLE系統(tǒng)的特點(diǎn)是MICROPOLE分析儀(MPA),它使用超精密光學(xué)蝕刻技術(shù)和玻璃/金屬粘合技術(shù)將九個(gè)四極桿組組合在一起。該MPA的開發(fā)產(chǎn)生了很小小小小的殘余氣體分析儀,其性能相當(dāng)于或優(yōu)于大型質(zhì)譜儀。該分析儀為插入式單元型,只需安裝已預(yù)先校準(zhǔn)分壓的傳感器單元即可測(cè)量總壓和分壓的絕對(duì)值。

測(cè)量原理

RGA 由離子源、質(zhì)譜儀和測(cè)量部分組成。殘余氣體通過與高溫?zé)艚z發(fā)射的熱電子碰撞而電離,產(chǎn)生的離子被加速、聚焦并引導(dǎo)至質(zhì)譜儀。在質(zhì)譜儀中,通過向四個(gè)圓柱形電極(四極)施加直流和交流電壓來篩選離子質(zhì)量。分離出的離子在法拉第杯中被檢測(cè)為電流,該離子電流與殘留氣體量(分壓)成正比。


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