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SHASHINA KAGAKU日本寫真化學(xué) 光纖式膜厚監(jiān)測儀

更新時間:2023-12-08      瀏覽次數(shù):289

緊湊型膜厚監(jiān)控儀是一種反射分光光度計(jì),使用小型反射探頭,適用于從實(shí)驗(yàn)室

水平到生產(chǎn)過程中在線100%檢測的所有情況。它具有出色的可維護(hù)性,可用于過

程設(shè)備和生產(chǎn)線管理。
最多可同時測量9種類型的透明薄膜。
它可用作各種多層薄膜工藝的在線或終點(diǎn)監(jiān)控器。
緊湊型探針可以安裝在加工工具內(nèi)部的小空間中。還可以通過使用EMA理論來判

斷混合層的混合比或多晶硅的結(jié)晶度。

image.png

1小型光纖探頭[*1] 2 膜厚測定再現(xiàn)性0.1nm以下(3σ)[*2]

6 無線對應(yīng)(選配件)[*6] 7 透射率測量(可選)[*7] 8 

自動映射測量(可選)[*8] 采用 30 mm 的小型探頭,可安裝在設(shè)備內(nèi)的狹

小空間內(nèi)。  而且,由于探頭到本體只用光纖連接,具有優(yōu)異的耐環(huán)境性。 4 膜質(zhì)解

析功能 [*4] ·通過有效介質(zhì)近似(EMA)方法計(jì)算混合比 ·結(jié)晶性評估,光學(xué)常數(shù)解

析 5 根據(jù)目的選擇光源

波長范圍 (nm) 430~700 400~900 220~900 對象膜厚范圍 (nm) 50 ~ 50,000 50 ~ 

50,000 10 ~ 30,000 平均壽命 (Hour) >50,000 10,000 1,000 光源式樣 白色 LED 鹵鎢燈

 氘·鹵素 3 多層膜同時測

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