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OAI美國 Model 32 UV LED Light Source 32型紫外LED光源

更新時間:2023-12-13      瀏覽次數:277

這種新型紫外LED光源由OAI久經考驗的光刻專家設計和制造。該光源提供了許多獨的特的好處,

其中最重要的是在異常長的壽命內保持一致的強度。該光源非常節(jié)能,無需維護或更換光源,

并且不含汞。

OAI紫外LED光源提供的光束大小在4"和12"之間,光束均勻性優(yōu)于+/- 4%。它具有一個棱

鏡陣列和光導管,以實現卓的越的均勻性。準直角度小于2度。這種光源具有可變的強度,波長

為365納米、405納米或兩者的組合。功能包括劑量控制和定時曝光。易于使用,OAI光源使

用觸摸屏界面,并有一個USB遠程接口。

UV光源提供多種選擇,包括重型支架、用于光刻印刷的工具模塊以及單波長或多波長版本。

該系統(tǒng)可以集成到任何OAI光刻系統(tǒng)中。

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