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半導體開發(fā)/制造/潔凈室露點計、氧氣濃度計、溫濕度計、風速計

更新時間:2024-01-20      瀏覽次數(shù):275

半導體開發(fā)/制造/潔凈室露點計、氧氣濃度計、溫濕度計、風速計

在半導體開發(fā)/制造過程中,去除顆粒、水分和氧氣等干擾因素是一個主要問題。為了確認干擾的消除,

我們的露點計、溫度/濕度計和氧濃度計被用于半導體制造、運輸和檢查等各種過程。也用于除濕空氣

(干燥空氣)的除濕以及氮氣、氬氣、氦氣、氫氣等氣體純度的測量和控制。相反,某些過程需要高水

分含量,在這些過程中,露點計用于保持恒定的水分含量。主要使用以下產品。

水分測量

① 將水分含量控制在極微量(ppb 至個位數(shù) ppm)的過程
 ? 可測量低至 -100 ℃ 露點的 TK-100 電容式露點計(氧化鋁型)  ? TE-660
控制的過程
露點至少-60°C的露點計(聚合物型)
③ 最重要的工藝,作為露點計的標準
 ? MBW鏡面冷卻型能夠測量-95°C至+99°C的露點(鏡面式)露點計
④ 需要控制相對濕度水平的工藝和潔凈室
 ? 簡易型號 EE060
⑤ 需要大量水分并需要控制恒定含水量的工藝
 ? 主要用于高溫高濕下的測量EE33 溫濕度計,具有防冷凝措施

氧氣濃度測量

① 需要通過氫氣置換
 等去除氧氣的工藝 ? 可確認 1 ppm 或更低的 2001LC 原電池氧濃度計
② 需要在沒有氫氣的情況下測量痕量氧氣濃度的工藝
 ? 能夠測量高達 ppb 水平的型號4100氧化鋯氧氣濃度計

風速測量

① 在潔凈室和制造設備中氣流非常重要的過程
 ? 可測量微風的風速計

主要產品

    電容式露點儀水分儀TK-100

    TK-100
    在線露點儀

    Techne測量暢銷書

    • 電容式

    • ±2℃dp

    • 安裝型

    • -100~+20℃dp

    • 生產計劃管理


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