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CISEMI ?的NTM-ETA 高精度和可重復(fù)性高溫計的優(yōu)勢和特點

更新時間:2024-03-07      瀏覽次數(shù):341
  NTM-ETA 是一款先進(jìn)的高精度和可重復(fù)性高溫計,設(shè)計為作為獨立裝置運行或與 NTM-Delta
 
  發(fā)射率獨立高溫計結(jié)合使用。
 
  用于溫度計算的發(fā)射率可以直接從 NTM-Delta 或通過主機(jī)的串行通信輸入
 
  NTM-ETA 的高靈敏度和寬動態(tài)范圍允許精確測量較低的最的低的溫度
 
  NTM-ETA 基于 NTM-Delta 的最的先的進(jìn)的技術(shù),在全球擁有數(shù)千臺安裝,是一種可靠的低
 
  成本解決方案,適用于 PVD、HDP-CVD、RTP 中的原位非接觸式溫度監(jiān)測和其他過程。
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  特點與優(yōu)勢
 
  現(xiàn)場、非接觸式監(jiān)測
 
  實時測量
 
  高靈敏度和寬動態(tài)范圍可實現(xiàn)最小溫度測量
 
  占地面積小
 
  閉環(huán)控制的快速更新率(高達(dá) 3,000 Hz)
 
  先進(jìn)的通信協(xié)議,包括 LAN、RS232 以及標(biāo)準(zhǔn)模擬和數(shù)字 I/O
 
  針對每個 OEM 工藝環(huán)境定制的后臺補(bǔ)償
 
  BIT(內(nèi)置測試)
 
  提供可選光學(xué)接口,包括遠(yuǎn)程光學(xué)接口
 
  可選嵌入式PID控制器
 
  先進(jìn)、用戶友好的軟件,用于設(shè)置、校準(zhǔn)和數(shù)據(jù)記錄
 
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