紫外光固化BG表面保護(hù)膠帶Adwill E系列是紫外光固化BG表面保護(hù)膠帶，可在背磨過(guò)程中可靠地保護(hù)晶圓表面，防止因研磨水和研磨碎屑的滲入而污染晶圓表面。 UV照射顯著降低膠帶剝離時(shí)的粘合強(qiáng)度，因此不會(huì)對(duì)晶圓施加應(yīng)力，可用于加工大直徑和薄晶圓。
特殊工藝：DBG
按工藝分類的膠帶應(yīng)用
1.標(biāo)準(zhǔn)
2.超薄研磨(厚度>40μm)
3.微型泵(含墨點(diǎn))
4.泵(高度<150μm)
5.高泵(高度<250μm)
兼容設(shè)備
-標(biāo)準(zhǔn)型(通用型)
1.設(shè)備可靠性高
晶圓表面污染極少，因此背面研磨后無(wú)需清洗晶圓。
2.保持高清潔度的生產(chǎn)系統(tǒng)
-薄型/凸塊晶圓兼容型
1.抑制背面研磨后的晶圓翹曲，支撐凸塊晶圓
2.提高晶圓厚度精度 (TTV*)
更新時(shí)間：2024-09-03 
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