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日本Tekhne露點儀：半導體超純氣體濕度監(jiān)測專家

更新時間：2025-08-15      瀏覽次數(shù)：18
日本Tekhne公司生產(chǎn)的露點儀是專門用于半導體超純氣體濕度監(jiān)測的高精度儀器。在半導體制造過程中，氣體的純度和濕度控制至關重要，因為微小的濕度變化可能會對半導體器件的性能和質量產(chǎn)生嚴重影響。以下是關于日本Tekhne露點儀的詳細介紹：

一、產(chǎn)品概述

  • 品牌：日本Tekhne
  • 用途：用于監(jiān)測半導體制造過程中超純氣體的濕度，確保氣體的純度和干燥度。
  • 目標客戶：半導體制造企業(yè)、電子材料供應商、科研機構等。

二、主要特點

  1. 高精度測量
    • 測量范圍：能夠測量極低的露點溫度，通常在-100°C至0°C之間，適用于超純氣體的濕度監(jiān)測。
    • 測量精度：露點溫度測量精度可達±0.1°C，確保測量結果的高可靠性。
    • 重復性：測量結果具有高重復性，確保長期穩(wěn)定的監(jiān)測效果。
  2. 快速響應
    • 快速測量：能夠在短時間內(nèi)完成露點溫度的測量，快速響應濕度變化。
    • 實時監(jiān)測：支持實時數(shù)據(jù)輸出，便于用戶及時調(diào)整氣體干燥系統(tǒng)。
  3. 高穩(wěn)定性
    • 傳感器技術：采用先進的傳感器技術，確保在惡劣環(huán)境下的穩(wěn)定性和可靠性。
    • 溫度補償：內(nèi)置溫度補償功能，確保在不同環(huán)境溫度下的測量精度。
  4. 數(shù)據(jù)管理
    • 數(shù)據(jù)記錄：設備內(nèi)置數(shù)據(jù)記錄功能，可存儲大量的測量數(shù)據(jù)。
    • 數(shù)據(jù)輸出：支持USB、LAN等多種數(shù)據(jù)輸出方式，方便用戶將數(shù)據(jù)導入計算機進行分析。
    • 數(shù)據(jù)分析：配備專業(yè)的數(shù)據(jù)分析軟件，可對測量數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析，生成報表。
  5. 用戶友好
    • 操作簡便：配備直觀的用戶界面，操作簡便，無需復雜培訓。
    • 校準功能：設備內(nèi)置校準功能，用戶可以定期進行校準，確保測量精度。

三、技術參數(shù)

  • 測量范圍：
    • 露點溫度：-100°C至0°C
    • 濕度范圍：1 ppmv（百萬分之一體積比）至100% RH（相對濕度）
  • 測量精度：
    • 露點溫度精度：±0.1°C
    • 濕度精度：±1% RH
  • 響應時間：小于1分鐘
  • 傳感器類型：高精度露點傳感器
  • 數(shù)據(jù)存儲：內(nèi)置大容量存儲器，可存儲數(shù)月的數(shù)據(jù)
  • 數(shù)據(jù)輸出：USB、LAN、RS-232C等多種接口
  • 環(huán)境要求：
    • 溫度：-10°C至50°C
    • 濕度：0%至95% RH（無凝結）
  • 電源要求：AC 100V-240V，50/60Hz，功率約100W
  • 尺寸與重量：
    • 尺寸：約400mm（寬）×300mm（深）×200mm（高）
    • 重量：約10公斤

四、應用領域

  1. 半導體制造
    • 晶圓制造：在晶圓制造過程中，監(jiān)測超純氣體（如氮氣、氬氣、氦氣等）的濕度，確保氣體的純度和干燥度。
    • 光刻工藝：在光刻過程中，監(jiān)測光刻氣體的濕度，確保光刻工藝的精度。
  2. 電子制造
    • 電子元件制造：監(jiān)測電子元件制造過程中使用的超純氣體的濕度，確保元件的性能和可靠性。
    • PCB制造：監(jiān)測PCB制造過程中使用的氣體的濕度，確保焊接質量和可靠性。
  3. 科研機構
    • 材料研究：在材料研究中，監(jiān)測實驗氣體的濕度，確保實驗結果的準確性。
    • 工藝開發(fā)：在新工藝開發(fā)過程中，監(jiān)測氣體的濕度，優(yōu)化工藝參數(shù)。

五、操作流程

  1. 開機準備
    • 打開設備電源，進行開機自檢。
    • 確保設備處于清潔狀態(tài)，檢查傳感器和測量裝置是否正常。
  2. 氣體連接
    • 將待監(jiān)測的超純氣體管道連接到露點儀的進氣口。
    • 確保氣體流量穩(wěn)定，符合設備要求。
  3. 自動測量
    • 設備自動開始測量氣體的露點溫度和濕度，測量結果實時顯示在屏幕上。
    • 測量數(shù)據(jù)自動記錄并存儲。
  4. 數(shù)據(jù)輸出
    • 檢測完成后，用戶可以通過USB接口或網(wǎng)絡接口將數(shù)據(jù)導出到計算機。
    • 使用數(shù)據(jù)分析軟件對數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析，生成檢測報告。
  5. 設備維護
    • 定期對設備進行清潔和校準，確保設備的長期穩(wěn)定運行。

六、優(yōu)勢與價值

  1. 高精度：能夠測量極低的露點溫度，確保超純氣體的濕度控制。
  2. 快速響應：快速測量和實時監(jiān)測，便于及時調(diào)整氣體干燥系統(tǒng)。
  3. 高穩(wěn)定性：先進的傳感器技術和溫度補償功能，確保設備在惡劣環(huán)境下的穩(wěn)定性和可靠性。
  4. 數(shù)據(jù)管理：支持數(shù)據(jù)記錄、存儲和輸出，方便用戶進行數(shù)據(jù)分析和質量控制。
  5. 用戶友好：操作簡便，內(nèi)置校準功能，確保測量精度。

七、售后服務

  • 技術支持：提供專業(yè)的技術支持，包括設備安裝、調(diào)試、培訓和維護。
  • 保修服務：設備提供一年有限保修服務，保修期內(nèi)免費維修和更換零部件。
  • 備件供應：提供充足的備件供應，確保設備的長期穩(wěn)定運行。


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