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日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀

日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀ME-210/ME-210-T
這是一款高速映射橢圓儀,可以測量 φ8″ 晶圓的整個表面(最大?300 mm 是可選的),可以高速和高密度測量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它
支持各種膜厚分布測量。

  • 產(chǎn)品型號:ME-210/ME-210-T
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2023-04-07
  • 訪  問  量:930
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日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀ME-210/ME-210-T

日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀ME-210/ME-210-T


這是一款高速映射橢圓儀,可以測量 φ8″ 晶圓的整個表面(最大?300 mm 是可選的),可以高速和高密度測量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它
支持各種膜厚分布測量。

規(guī)格

  • 測量

重復(fù)性
  • 膜厚:0.1nm
    折射率:0.001 *SiO2膜的一點(膜厚:約100nm)重復(fù)測量100次時的標(biāo)準(zhǔn)偏差值。

測量速度
  • 最大測量速度
    900 點/分鐘以上(寬模式,測量 100 平方毫米面積時)
    5,000 點/分鐘或以上(高清晰模式,測量 1 平方毫米面積時)

光源
  • 半導(dǎo)體激光器(振蕩波長636nm)

測量點
  • 廣域模式:0.5 平方毫米
    高清模式:5.5 微米平方

入射角
  • 70度

尺寸
(寬 x 深 x 高)
  • 270×337×最大631mm

兼容透明基材
  • 兼容 ME-210-T
    不兼容 ME-210


  • 住房

舞臺尺寸
  • 支持最大 8 英寸晶圓
    (最大 ?300 mm 可選)

尺寸
(寬 x 深 x 高)
  • ME-210-T 650×650×1744mm
    ME-210 650×650×1740mm

重量
  • 約200公斤

界面
  • GigE(相機信號)


  • 其他的

界面
  • GigE(相機信號)

電源
  • AC100-240V

軟件
  • ME-視圖

配件
  • 臺式電腦、顯示器、使用說明書、標(biāo)準(zhǔn)樣品


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