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ulvac-kiko 真空泵 低溫泵 壓縮機單元C15RCRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據(jù)FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發(fā)等應用領域的不同，從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。
產(chǎn)品型號：C15R廠商性質：經(jīng)銷商更新時間：2023-04-11訪 問 量：512
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ulvac-kiko 真空泵 低溫泵 壓縮機單元C15R
ulvac-kiko 真空泵 低溫泵 壓縮機單元C15R
輕量?緊湊、標準尺寸最小的泵
適用于實驗室和研究室的小型真空設備。
可以多臺運行（最多3臺）
可以達到超高真空（10-8Pa以下）
膜片泵通過橡膠膜片的往復運動來形成真空。
泵體結構采用無油環(huán)境設計、因此維護簡單。
根據(jù)您對壓力和腔體的要求可以選擇各種不同的泵速和雙段/單段設計。
價格低廉，銷售量多的標準型干式真空泵。
氣體接觸區(qū)域不使用油的干式真空泵。
豐富的產(chǎn)品陣容可滿足不同的應用需求。
單級排氣系統(tǒng)比兩級排氣系統(tǒng)更快。
具有鎖定保護和過流保護功能等安全設計。
大氣壓下可以運作。
真空吸盤，晶圓和處理設備。
真空鑷子，醫(yī)療器械。
印刷設備。
自動包裝機。
光學器具。
半導體行業(yè)。
注塑機。
膜片泵通過橡膠膜片的往復運動來形成真空。
泵體結構采用無油環(huán)境設計、因此維護簡單。
根據(jù)您對壓力和腔體的要求可以選擇各種不同的泵速和雙段/單段設計
價格低廉，銷售量多的標準型干式真空泵。
氣體接觸區(qū)域不使用油的干式真空泵。
豐富的產(chǎn)品陣容可滿足不同的應用需求。
兩級排氣系統(tǒng)與單級排氣系統(tǒng)相比具有更低的壓力（良好的真空）。
內置自動復位型熱保護器等安全設計。
大氣壓力下可運作。
結構簡單，維護方便。
| Unit | 50Hz | 60Hz | |
有效排氣速度 | L/min | 120 | 145 |
極限壓力 | Pa (kPa) | 3.3×10 3 （-98.0） | |
使用電動機 | 単相, 100V, 400W, 4P, Capacitor run | ||
全負荷電流 | A | 4.8 | 5.8 |
重量 | kg | 26.0 | |
吸?排氣口徑 | mm | ODΦ16×IDΦ12 (G 1/2) | |
使用環(huán)境溫度范圍 | ℃ | 0～40 | |
最大尺寸 | mm | 193.5(W)×411(L)×285(H) | |
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