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ulvac-kiko 高速光譜橢偏儀

ulvac-kiko 高速光譜橢偏儀UNECS?Portable
UNECS系列是可以高速、高精度測量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。
采用特的測量方式,實現(xiàn)了高速測量和機體的小型化。

  • 產(chǎn)品型號:UNECS?Portable
  • 廠商性質:經(jīng)銷商
  • 更新時間:2023-04-11
  • 訪  問  量:925
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ulvac-kiko  高速光譜橢偏儀UNECS?Portable

ulvac-kiko  高速光譜橢偏儀UNECS?Portable


UNECS系列是可以高速、高精度測量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。
采用特的測量方式,實現(xiàn)了高速測量和機體的小型化。
我們的產(chǎn)品陣容包括特的便攜式,自動式和對應真空環(huán)境的設備內(nèi)置式類型。
UNECS-Portable,測量部的重量只有2.2kg重量輕且緊湊,是易于攜帶的便攜式類型。
可用于真空設備現(xiàn)場驗收試驗,可以通過分離樣品臺直接放在樣品上進行大尺寸樣品的測量。

特點

  • 高速測定:
    獨的快照方法可實現(xiàn)高達20 ms的高速測量。

  • 適用于可見光譜:
    波長范圍可選標準類型(530nm至750nm)和可見光譜類型(380nm至760nm)。

  • 緊湊型傳感器單元:
    光發(fā)射和接收的傳感器僅由沒有旋轉機構的光學部件組成,因此非常輕且緊湊,并且不需要定期維護。

  • 豐富的產(chǎn)品陣容:
    產(chǎn)品陣容應用廣泛,包括如獨的便攜類型,手動/自動平臺類型,大型基板類型,以及支持大氣/真空環(huán)境的內(nèi)置類型。

用途

  • 透明或半透明薄膜(氧化膜,氮化膜,抗蝕劑,ITO等)的膜厚,折射率,消光系數(shù)的測量

規(guī)格

波長范圍530 ~ 750nm、380 ~ 760nm(選擇)
點徑Φ1mm、Φ0.3mm(選擇)
入射角度70o固定
膜厚再現(xiàn)性1σ = 0.1nm
膜厚范圍1nm ~ 2μm
測量時間受光:20ms ~ 3000ms 演算:300ms
平臺固定類型(Φ150mm以下、可拆卸)
控制PC筆記本類型(帶操作/分析軟件)
機器構成測量本體(帶固定臺)、控制器BOX、光源單元
操作PC(筆記本型)、使用說明書(CD)


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