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showashinku盒對(duì)盒式干法蝕刻裝置 濺射和離子板

showashinku盒對(duì)盒式干法蝕刻裝置 濺射和離子板SPE
真空室主要是配備運(yùn)輸機(jī)器人的運(yùn)輸室,由蝕刻室和盒室三個(gè)房間組成。
真空室材料由A5052制成,A5052對(duì)運(yùn)輸室,蝕刻室和盒室都進(jìn)行了脫脂處理。

  • 產(chǎn)品型號(hào):SPE
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2023-04-11
  • 訪  問  量:567
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showashinku盒對(duì)盒式干法蝕刻裝置 濺射和離子板SPE

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特征
1.緊湊型設(shè)備
尺寸(1000mmW×1100mmD×1600mmH)
2.單晶圓系統(tǒng),生產(chǎn)率高,是批量生產(chǎn)的理想選擇
3.加工質(zhì)量高

?單晶圓類型確保高蝕刻均勻性。

?背面采用非接觸式氣冷系統(tǒng),不會(huì)損壞基板背面
4.采用高真空排氣裝置
5.高可維護(hù)性

?真空室的小型化便于維護(hù)
6.由于設(shè)備外形緊湊,安裝位置沒有限制
1.設(shè)備配置

真空室主要是配備運(yùn)輸機(jī)器人的運(yùn)輸室,由蝕刻室和盒室三個(gè)房間組成。
真空室材料由A5052制成,A5052對(duì)運(yùn)輸室,蝕刻室和盒室都進(jìn)行了脫脂處理。
2.排氣系統(tǒng)

渦輪分子泵1套(蝕刻室)
旋轉(zhuǎn)泵2套(蝕刻室、盒式室和運(yùn)輸室組合)
3.性能

極限壓力2.7×10-3Pa以下(蝕刻室)
排氣時(shí)間3分鐘內(nèi)至0.10×2-2Pa(蝕刻室)
蝕刻深度65nm *配對(duì)BK7玻璃(使用φ3英寸或φ4英寸基板時(shí))
蝕刻分布±5%以內(nèi) *保修區(qū)域:50×50mm以下
循環(huán)時(shí)間300秒(24張/ 1盒,φ3或φ4英寸板)*參考值
4.供電系統(tǒng)

射頻電源最大 500W (13.56兆赫)
匹配盒全自動(dòng)匹配規(guī)格
5.氣體引入系統(tǒng)

CF/SF、氦、O2 質(zhì)量流量控制器 3
6.控制系統(tǒng)

使用定序器可以進(jìn)行全自動(dòng)操作。
處理的基板數(shù)量始終顯示在觸摸屏上,并且可以從最新的開始檢查錯(cuò)誤歷史記錄。
7.外部尺寸

設(shè)備本體 1000mmW×1100mmD×1600mmH
設(shè)備重量 1000Kg
8.公用事業(yè)

電力200V 3φ 50/60Hz 12KVA
冷卻水
壓縮空氣0.5兆帕 20升/分鐘
N2氣體0.3兆帕 60升/分鐘




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