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otsukael光譜干涉式晶圓測厚儀 紫外光譜儀

otsukael光譜干涉式晶圓測厚儀SF-3的介紹
OPTM 是一種通過使用顯微鏡光譜測量微小區(qū)域的絕對反射率來實現(xiàn)高精度薄膜厚度和光學常數(shù)分析的設備。
各種薄膜、晶圓、光學材料等鍍膜、多層膜厚度的無損、非接觸測量??梢赃M行1秒/點的高速測量。此外,它配備了軟件,即使是初次使用的用戶也可以輕松分析光學常數(shù)。。

  • 產(chǎn)品型號:SF-3
  • 廠商性質:經(jīng)銷商
  • 更新時間:2023-04-14
  • 訪  問  量:802
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otsukael光譜干涉式晶圓測厚儀SF-3的介紹

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OPTM 是一種通過使用顯微鏡光譜測量微小區(qū)域的絕對反射率來實現(xiàn)高精度薄膜厚度和光學常數(shù)分析的設備。

各種薄膜、晶圓、光學材料等鍍膜、多層膜厚度的無損、非接觸測量??梢赃M行1秒/點的高速測量。此外,它配備了軟件,即使是初次使用的用戶也可以輕松分析光學常數(shù)。。

特征
  • 膜厚測量所需的功能集成在測量頭中

  • 使用顯微光譜法進行高精度絕對反射率測量(多層膜厚度、光學常數(shù))

  • 每點1秒以內的高速測量

  • 實現(xiàn)顯微鏡下寬測量波長范圍(紫外到近紅外)的光學系統(tǒng)

  • 區(qū)域傳感器安全機制

  • 一個簡單的分析向導,即使是初次使用的用戶也可以進行光學常數(shù)分析

  • 配備可自定義測量順序的宏功能

  • 也可以分析復雜的光學常數(shù)(多點分析法)

  • 300mm載物臺兼容



能夠從低亮度到高亮度進行高速、高精度測量的光譜輻射亮度計。
使用電子冷卻線性陣列傳感器,的光譜設計和信號處理電路在寬亮度范圍和波長范圍內實現(xiàn)了低噪聲、高精度測量。

特征
  • 采用亮度和色度精度高的分光法(衍射光柵)
  • 能夠測量從0.005cd/m2的超低亮度到400,000cd/ m2的高亮度
  • 支持 CIE 推薦的寬波長范圍(355nm 至 835nm)
  • 專有光學系統(tǒng)減少了偏光誤差 (<1%),
    可以高精度測量具有偏光特性的樣品,例如 LCD。
  • 包括通信時間在內,僅需 1 秒即可進行高速測量。
    (在連續(xù)測量的情況下,最小為 20 毫秒/次,甚至可以更快地測量。)
  • 無需改變測量角度即可支持寬亮度范圍。(0.005cd/m 2至 4,000cd/m 2
    在2°的測量角度
  • 可以對頻率照明光源進行高精度和穩(wěn)定的測量。
測量項目
- 輻射 (W/sr/m 2 )- 色域(NTSC 比例)*1
- 亮度 (cd/ m2 )- 反應速度*2
- 色度坐標 xy  [符合JIS Z8724 ]- 亮度 (J) *3
- 色度坐標 U'V'  [符合JIS Z8781-5 ]- 亮度 (Q) *3
- 相關色溫- 飽和度 (s) *3
- CIE 顏色系統(tǒng) 2°/10°- 色度 (C) *3
- 三刺激值 XYZ- 色彩度(M)*3
- 偏差- 等效亮度值*4
- 光譜數(shù)據(jù)的四種算術運算
- 光譜數(shù)據(jù)的功能處理
應用
  • LCD、PDP、有機EL、大尺寸LED視覺等顯示器件的
    光譜數(shù)據(jù)、亮度、色度、相關色溫測量

  • 照明光源(如燈)的光譜數(shù)據(jù)、亮度、色度和相關色溫的測量

  • 作為各種亮度和色度測量儀器的標準

  • 物體的非接觸式顏色測量




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