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otsukael 高靈敏度示差折光儀 鎢絲燈 光源 紫外光譜儀

otsukael 高靈敏度示差折光儀 鎢絲燈 光源DRM-3000的介紹

通過注射器方法可以很容易地進(jìn)行樣品注入。
數(shù)據(jù)處理很容易,因為控制和數(shù)據(jù)采集是從個人計算機(jī)進(jìn)行的。
低噪聲、高穩(wěn)定性和可重復(fù)測量是可能的。

  • 產(chǎn)品型號:DRM-3000
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2023-04-14
  • 訪  問  量:910
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otsukael 高靈敏度示差折光儀 鎢絲燈 光源DRM-3000的介紹

otsukael 高靈敏度示差折光儀 鎢絲燈 光源DRM-3000的介紹



  • 通過注射器方法可以很容易地進(jìn)行樣品注入。

  • 數(shù)據(jù)處理很容易,因為控制和數(shù)據(jù)采集是從個人計算機(jī)進(jìn)行的。

  • 低噪聲、高穩(wěn)定性和可重復(fù)測量是可能的。

應(yīng)用實例
  • 通過靜態(tài)光散射測定重均分子量的 dn/dc 測量

  • 表面活性劑等的膠束臨界濃度(c.m.c)測量

  • 高分子吸附量的測定

  • 高分子共聚物的成分分析

  • 脂質(zhì)體相變溫度測量等




除了可以進(jìn)行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外,它還通過實現(xiàn)自動可變測量角度機(jī)構(gòu)來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外,還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機(jī)構(gòu)提高了測量精度。



特征
  • 可在紫外-可見(300 至 800 nm)波長范圍內(nèi)測量橢圓參數(shù)

  • 能夠分析納米級多層薄膜的膜厚

  • 通過 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測量橢圓光譜

  • 支持通過可變反射角測量對薄膜進(jìn)行詳細(xì)分析

  • 通過創(chuàng)建光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫和添加配方注冊功能提高可操作性


測量項目
  • 橢圓參數(shù)(tanψ,cosΔ)測量

  • 光學(xué)常數(shù)(n:折射率,k:消光系數(shù))分析

  • 膜厚分析


測量對象
  • 半導(dǎo)體ウェーハ
    ゲート酸化薄膜,窒化膜
    SiO2,SixOy,SiN,SiON,SiNx,Al2O3,SiNxOy,poly-Si,ZnSe, BPSG,TiN
    レジストの光學(xué)定數(shù)(波長分散)

  • 化合物半導(dǎo)體
    AlxGa(1-x)As 多層膜,アモルファスシリコン

  • FPD
    配向膜

  • 各種新素材
    DLC(Diamond Like Carbon),超伝導(dǎo)用薄膜,磁気ヘッド薄膜

  • 光學(xué)薄膜
    TiO2,SiO2,反射防止膜

  • リソグラフィー分野
    g線(436nm),h線(405nm),i線(365nm)などの各波長におけるn,k評価

光源 鎢絲燈
探測器 光電二極管陣列
測量波長 633 nm(帶干涉濾光片)
樣品池 流通池容量 8 μL(注射器法)
溫度范圍 10至50°(無結(jié)露)
 恒溫水循環(huán)系統(tǒng)
測量范圍 0 至 ±4× 10 -3Δn
噪音水平 2×10 -7 Δn(25℃,蒸餾水)
基礎(chǔ)穩(wěn)定性 2×10 -6 Δn/h(25℃,蒸餾水)
電源 AC100V±10V, 150VA (最大)
尺寸(WDH) 260×400×165mm
重量 約13公斤


otsukael靜態(tài)光散射光度計 積分光度計SLS-6500HL的介紹



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