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napson探頭測量儀 電阻計 熱電阻 電阻測量機

napson探頭測量儀 電阻計 熱電阻 電阻測量機WS-3000的介紹
可安裝 4 種探頭的探頭更換機構(gòu)無需為每個測量樣品更換探頭。
通過雙模式高精度測量高達 1mm 的邊緣
高速測量帶來的成本優(yōu)勢
FOUP 裝載口,兼容 GEM/SECS

  • 產(chǎn)品型號:WS-3000
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2023-04-15
  • 訪  問  量:518
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napson探頭測量儀 電阻計 熱電阻 電阻測量機WS-3000的介紹

napson探頭測量儀 電阻計 熱電阻 電阻測量機WS-3000的介紹

產(chǎn)品特點

  • 可安裝 4 種探頭的探頭更換機構(gòu)無需為每個測量樣品更換探頭。

  • 通過雙模式高精度測量高達 1mm 的邊緣

  • 高速測量帶來的成本優(yōu)勢

  • FOUP 裝載口,兼容 GEM/SECS

測量規(guī)格

測量對象

  • 半導體及太陽能電池材料(硅、多晶硅、SiC等)

  • 導電薄膜相關(guān)(金屬、ITO等)

  • 擴散樣品

  • 硅基外延、離子注入樣品

  • 其他(*請聯(lián)系我們)

測量尺寸

12英寸
(選項;200mm組合使用)

測量范圍

[薄層電阻] 1m 至 10MΩ/sq

產(chǎn)品特點

  • 4探針半自動玻璃基板薄膜測量儀

  • XY軸機構(gòu)臺

  • 面內(nèi)多點測量,均勻間距或隨機間距設置選擇,配備2-D/3-D繪圖軟件

測量規(guī)格

測量對象

  • 半導體及太陽能電池材料(硅、多晶硅、SiC等)

  • 新材料/功能材料(碳納米管、DLC、石墨烯、銀納米線等)

  • 導電薄膜相關(guān)(金屬、ITO等)

  • 擴散樣品硅基薄膜(LTPS等)、IGZO

  • 硅基外延、離子注入樣品

  • 化合物半導體(GaAs、Epi、GaN、Epi、InP、Ga等)

  • 其他(*請聯(lián)系我們)

測量尺寸

最大300×300mm(可選;最大500×500mm)


測量范圍

[電阻率(比電阻)] 1 m 至 200 Ω cm
[薄層電阻] 1 m 至 1,000 k Ω/sq(選項;高達 10 M Ω/sq

產(chǎn)品特點

  • 具有大電阻測量范圍的 4 探頭測量儀

  • 用于圓形/方形測量的測量模式可編程和映射軟件

  • 自檢功能、厚度/周邊位置/溫度校正功能(針對硅)

  • 根據(jù)電阻范圍從 2 種類型的測試儀中選擇

  • (RT-3000(S):寬測量范圍,RT-3000(H):高電阻測量范圍)

測量規(guī)格

測量對象

  • 半導體及太陽能電池材料(硅、多晶硅、SiC等)

  • 新材料/功能材料(碳納米管、DLC、石墨烯、銀納米線等)

  • 導電薄膜相關(guān)(金屬、ITO等)

  • 擴散樣品

  • 硅薄膜(LTPS等)、IGZO

  • 硅基外延、離子注入樣品

  • 其他(*請聯(lián)系我們)

測量尺寸

~8 英寸或 ~156x156mm

?選項(用于大直徑尺寸:型號 RG-3000):最大 12 英寸,最大 210 x 210 毫米


測量范圍

①RT-3000(S);
[電阻率(電阻率)] 100μ~1MΩ?cm
[方塊電阻] 1m~10MΩ/sq
②RT-3000(H);
[方塊電阻] 10m~1GΩ/sq


產(chǎn)品特點

  • 4探針半自動玻璃基板薄膜測量儀

  • XY軸機構(gòu)臺

  • 面內(nèi)多點測量,均勻間距或隨機間距設置選擇,配備2-D/3-D繪圖軟件




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