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超聲與兆聲的比較,兆聲波在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

更新時(shí)間:2024-01-04      瀏覽次數(shù):717

超聲波與兆聲波的比較

德國sonosys超聲波清洗 

LIGA 技術(shù)開發(fā)過程中 40 kHz 和 1 MHz 超聲波頻率的比較

應(yīng)用兆聲波的一個(gè)重要優(yōu)勢是能夠順利清潔極其脆弱的微結(jié)構(gòu)。左圖顯示顯微結(jié)構(gòu)已被40 kHz超聲

波頻率的高空化能量破壞。被破壞的山脊厚度約為。4微米。在 1 MHz 超聲波頻率下,微觀結(jié)構(gòu)保

持不變(右圖)。

 

破壞了脆弱的微觀結(jié)構(gòu)約。200 µm 高,以 40 kHz 頻率開發(fā)。

未損壞的易碎微觀結(jié)構(gòu),高 400 µm,以 1 MHz 頻率開發(fā)。

 

高縱橫比微結(jié)構(gòu)開發(fā)的工藝支持

當(dāng)通過 X 射線光刻生產(chǎn)微結(jié)構(gòu)時(shí),致密和深層結(jié)構(gòu)的無殘留開發(fā)尤為重要。

在高縱橫比的微結(jié)構(gòu)(例如LIGA技術(shù))的開發(fā)過程中,由于產(chǎn)生的微流,顆粒被完的全沖走,開發(fā)時(shí)

縮短了7倍。對于脆弱的結(jié)構(gòu),結(jié)構(gòu)的深度可以增加 2 倍。

 

在沒有兆聲波支持的情況下開發(fā)的微觀結(jié)構(gòu)

在兆聲波支持下開發(fā)的微觀結(jié)構(gòu)






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