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帶潛水傳感器的兆聲波系統(tǒng),清潔實例

更新時間:2024-01-04      瀏覽次數(shù):287

清潔實例

德國sonosys

最佳清潔效果 - 帶潛水傳感器的兆聲波系統(tǒng)

與卡爾斯魯厄研究中心 (IMT) 合作,為位于 Rüschlikon 的 IBM 公司檢查了硅微機械結構的

兆聲波清洗。這些芯片厚 500 µm,長 3 mm,其正面有一個厚 5 µm、長 300 µm 的獨立硅

懸臂梁。尖頭垂直集成在硅懸臂上(用于掃描探針顯微鏡中的應用)。檢查的目的是去除表

面的抗蝕劑殘留物,而不損壞極其脆弱的硅梁或尖的端。

 

清洗前的激光結構化薄膜

使用兆聲波能量清潔后的激光結構化薄膜

 

Kapton 薄膜上覆蓋有約 1 層主涂層。1 µm 厚,通過激光進行結構化。左圖所示的燒蝕殘留

物需要去除。清潔是在室溫下在含有潤濕劑的軟化水中以 10 W/cm2 的強度進行的。
可以去除燒蝕而不會對結構或底涂層造成任何損壞。

Megasonic 支持清洗前的硅懸臂芯片

兆聲波支持清洗后的硅懸臂芯片


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